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高純度電子特氣淨化技術


創建時間 2018-05-09 16:19:14

   随着氣體行業的發展,尤其是特氣行業,對氣體分析儀器的要求越來越高,在這樣的條件下,氦放電離子化檢測器(DID)氣相色譜儀及時解決了分析行業的難題.着重概述在高純氦氣、高純氪氣、高純氙氣、高純氯化氫氣體、砷烷等特氣分析中的應用.

   電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技産業,或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的淨化愈加關鍵和重要。目前國内的超高純度淨化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目将設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米淨化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端淨化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并将特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低産品缺陷, 提高制程的産量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目将形成有自主知識産權的超高純度電子特氣淨化技術,解決超高純度電子特氣淨化這一核心技術的國産化問題.

   江苏快三今天开奖结果作為地區專業的氯化氫産品研發供應機構,公司代理的各種不同類型的氯化氫、高純氯氣、高純液氯等特氣産品不僅質量上乘,而且産品純度高,在實際的工業生産領域中有着廣泛的應用,深受廣大需求廠家的好評,值得信賴,歡迎咨詢選購。咨詢電話:15615637878